포스텍 김형준 교수팀, 값싼 나노구조물 제작기술 개발

▲ (사진 위로부터)김형준 교수, 김우희 씨.

포스텍 연구진이 반도체 소자 제작에서 필수적인 고가의 '패터닝' 공정을 거치지 않고 값싸고 더 작은 나노 크기의 나노구조물을 제작할 수 있는 기술을 개발했다.

포스텍 BK21 지식산업형소재시스템사업단(신소재공학과) 김형준 교수(40·사진)와 박사과정 김우희 씨 연구팀은 31일 알루미늄박막에 자기조립 기술을 적용해 균일한 나노 크기 구멍을 가진 자기조립 나노틀을 만든 뒤 첨단 박막 기술인 원자층 증착을 이용하여 고가의 패터닝 과정을 거치지 않고도 균일도와 정렬도가 우수한 나노구조물을 얻을 수 있는 기술을 개발했다고 밝혔다.

이 기술은 영국 물리학회(IOP)가 발간하는 '나노테크놀로지' 30일자에 표지논문으로 발표됐는데 학계에서는 나노막대·나노점 등 다양한 형태로 제작할 수 있어서 나노 구조물의 대면적 제조 공정 개발의 가능성을 연 것이라고 호평했다. 학계는 또 최근 소재 분야에서 크게 각광을 받고 있는 나노 융합공정의 일환으로 나노센서·나노메모리 소자 등 다양한 나노전자소자 제작에도 활용할 수 있을 것으로 전망했다.

김형준 교수는 "나노 구조물 제작에서 필수적이라고 믿어왔던 고가의 패터닝 과정을 생략함으로써 기존보다 생산비용을 절감하고 기존 패터닝 과정의 한계를 극복할 수 있게 됐다."며 "국내 기술이 상대적으로 강한 원자층 공정의 응용분야를 나노 기술 분야로 확대했다는 점도 의의가 있다."고 말했다.

포항·박정출기자 jcpark@msnet.co.kr

※ 패터닝 (Patterning): 표면에 원하는 형상을 만드는 방법