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주성엔지니어링, 복수 기판 고정 홀더 특허 취득 공시

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매일신문 입력 2011-02-09 14:31:48
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코스닥 등록 업체인 주성엔지니어링은 복수의 기판을 고정시키기 위한 기판 홀더 및 이를 장착한 챔버에 관한 특허를 취득했다고 금감원 전자공시시스템을 통해 9일 공시했다.

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