경북도, 반도체 핵심부품 자립 시동… 챔버 소재·부품 테스트베드 구축

산업부 공모 선정으로 국비 150억원 확보… 구미산단에 5년간 400억원 투입

경북도청 전경. 매일신문DB.

경상북도는 산업통상부가 주관하는 '반도체 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축' 공모사업에 최종 선정돼 국비 150억원을 확보했다고 17일 밝혔다.

이날 경북도에 따르면 이번 공모사업은 2nm급 이하 초미세 반도체 공정 도입에 따라 극저온·수소 플라즈마 등 극한 환경을 견딜 수 있는 고부가 챔버 부품 수요가 증가하는 상황에서, 미국·일본 등 특정 국가 의존도가 높은 핵심 부품의 기술 자립화를 위해 추진된다. 반도체 챔버 핵심부품은 반도체 제조 장비 내부에서 웨이퍼를 고정(정전척)하거나 플라즈마를 제어(포커스링)하고 극한 공정 환경으로부터 장비를 보호하는 핵심 소모품이다.

그동안 국내 중소·중견기업들은 반도체 핵심 부품 개발 시 고가의 준양산급 장비 부족으로 시제품 제작과 성능 검증에 어려움을 겪어 왔다.

도는 이번 테스트베드 구축을 통해 독자적으로 구축하기 어려운 장비구축과 기술 지원 체계를 마련해 개발 과정의 시행착오를 줄이고 상용화 기간도 단축할 것으로 기대하고 있다.

현재 챔버용 3대 핵심 부품(정전척, 링, 라이너)은 대외 의존도가 90%를 웃도는 상황이다. 이번 사업을 통해 개발 기간은 기존 5년 이상에서 3년 이내로 40% 이상 단축하고 개발 비용도 50% 이상 절감해 수입 대체 효과를 높일 방침이다.

테스트베드는 앞으로 5년 간 총사업비 400억원(국비 150억원 포함)이 투입돼 구미국가1산업단지 내에 구축된다. 이곳은 기술지원센터 구축 외에 제조·검증 장비, 시제품 제작 지원 및 시험분석 평가 지원 등이 이뤄지게 된다. 도는 이를 통해 지역의 소재·부품 제조 기술과 수도권의 칩 양산을 잇는'K-반도체 밸류체인'을 완성할 방침이다.

경북도 관계자는 "구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 주도해 나가겠다"고 밝혔다.