나노소자 대량생산 기술 개발

서울대 최만수 교수팀 발표…'네이처 나노 테크놀로지' 게재

나노소자를 대량 생산할 수 있는 나노 공정 핵심 원천기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

서울대는 최만수 기계항공공학부 교수 연구팀이 수십나노미터(nm:10억분의 1m) 의 나노입자를 원하는 모양대로 기판 위에 배열해 나노소자를 만드는 '병렬식 나노입자 패터닝'에 관한 신기술을 개발했다고 30일 밝혔다.

이 기술은 기체 상태의 나노입자에 전기장을 건 뒤 전기장을 띤 기판 위 한점에모이는 현상을 이용했으며 현재의 회로크기를 획기적으로 줄인 데다 기존 반도체 공정을 사용할 수 있어 산업화가 가능할 것으로 전망된다.

향후 초고집적 나노 트랜지스터, 양자소자, 나노데이터 저장매체, 질병 진단에 사용되는 나노 바이오센서, 나노 가스센서 등으로 활용될 예정이다.

이 연구는 과학기술부 창의연구단 지원사업으로 이뤄졌으며 나노기술 분야의 권위지 '네이처 나노테크놀로지' 11월호(29일자)에 소개됐다.

최만수 교수는 "이번에 개발된 기술을 심화 발전시켜 나노소자 제조의 표준 공정기술로 확립코자 한다"며 "관련 특허를 국내와 국제에 출원 중이며 국내 산업계로기술 이전을 계획 중"이라고 말했다.

연합뉴스