경북 영주 SK머티리얼즈, 고순도 불화수소 본격 개발 착수

일본 수출 규제 품목인 고순도 불화수소 연내 시제품 생산 목표

일본 수출 규제 품목인 고순도 불화수소 개발에 나선 경북 영주 SK머티리얼즈 회사 전경. SK머티리얼즈 제공

경북 영주에 있는 SK머티리얼즈가 일본의 수출 규제 품목에 포함된 고순도 불화수소(에칭가스)의 연내 국산화 계획을 밝혀 관심을 모으고 있다.

SK머티리얼즈는 11일 "최근 에칭가스 생산을 공식 선언하고 연내 시제품 생산을 목표로 현재 준비 작업에 돌입한 상태"라고 밝혔다.

SK머티리얼즈는 저순도 불화수소(AHF)를 중국에서 수입, 고순도로 생산할 계획이다. 이 회사에 따르면 불화수소는 액체 형태(케미칼)의 고순도 가스(99.9999999999)와 기체 상태의 고순도 가스(99.999)로 나뉜다. 액체가스보다 기체가스가 만들기 어렵다.

SK머티리얼즈는 반도체 제조공정에 사용되는 특수가스인 삼불화질소(NF3)의 국산화에 처음 성공한 업체로, NF3 원료인 에칭가스 관련 기술과 노하우를 갖고 있다.

이 회사는 특수가스인 NF3 생산을 위해 저순도 불화수소를 중국에서 수입해 사용하고 있는데, 암모니아와 저순도 불화수소를 반응시켜 NF3로 만들고 있다.

일본 수출 규제 품목인 고순도 불화수소 개발에 나선 경북 영주 SK머티리얼즈 회사 본관. SK머티리얼즈 제공

SK머티리얼즈 관계자는 "회사의 대표 제품이 반도체 웨이퍼를 세정하는 삼불화질소인데, 이를 만들기 위해 그동안 불화수소를 사용해 왔다"며 "국산화 필요성을 느껴 불화수소 양산에 투자하기로 했다"고 말했다.

또 "올해 말, 늦어도 내년 초엔 불화수소 샘플을 만들어낼 계획"이라며 "아직 투자 규모 등은 정해지지 않았다"고 덧붙였다.

SK머티리얼즈는 반도체 디스플레이 패널 제조에 사용되는 특수가스를 생산하는 회사로 모기업인 SK(주)가 49%의 지분을 갖고 있다.