삼익THK, AI 공정·정밀로봇 앞세워 반도체 산업 협업 확대

세미콘코리아 참가…비자성 LM가이드·피에조 스테이지 등 특수공정 장비 공개
자율주행 로봇·AI비전 결합 스마트팩토리 솔루션 경쟁력 부각

삼익THK가 세미콘코리아 2026 전시회에서 선보인 로봇 설루션. 인공지능(AI), 자율주행 기술을 결합해 반도체 공정 정밀도를 높이는 데 기여한다. 삼익THK 제공

삼익THK가 국내 최대 반도체 박람회 '세미콘코리아 2026'에서 인공지능(AI) 공정 혁신을 주도하는 기술력을 입증했다.

삼익THK는 지난 11~13일 서울 코엑스에서 열린 이번 박람회에서 삼성전자와 삼성디스플레이 등 선도 기업들과 협업 강화를 논의했다고 18일 밝혔다.

회사는 시장 점유율 1위를 자랑하는 LM가이드 가운데 비자성, 고내식 특수환경에 특화된 제품을 선보여 눈길을 끌었다. 반도체 공정 과정에 오차가 발생할 위험을 낮추기 위해 비자성, 내화학성을 높인 재질을 적용한 것이 특징이다.

또 고속형 미니어처 LM가이드 AHR은 기존 제품을 개선해 부드럽고 안정된 구조를 갖추고 있다. 이에 따라 생산성은 물론 제품 품질 향상도 기대할 수 있다. 8조열 LM가이드 SPR의 경우 진동을 최소화시켜 정밀도를 끌어올렸다. 이 외에도 산업용 로봇에 사용되는 형상기억지그, 첨단기술 공정 제어의 핵심인 피에조 스테이지, 에너지 절감에 적합한 에어관리시스템 등을 선보였다.

로봇을 활용한 기술도 주목을 받았다. '넥스테이지 필리'(NEXTAGE Fillie) 플랫폼은 자율주행 기술과 협동로봇을 결합해 공간 제약없이 양손을 동시에 사용하는 강점을 지닌다. 물류와 생산, 서비스 분야에서 유연한 작업이 가능한 고도화된 자동화 솔루션을 구현한다.

반도체용 기판을 이송하는 산업용 로봇인 'U-WTR'은 정확한 위치를 찾는 것은 물론 빠르고 정밀한 작업이 가능하다. 아울러 '모바일매니퓰레이터'는 자율주행 로봇과 협동로봇, 레이저비전 시스템을 결합한 복합다중로봇으로 사람의 개입 없이 자율적인 이송을 가능하게 했다.

삼익THK 관계자는 "스마트 팩토리 고도화에 기여하는 로봇, 장비, 시스템과 더불어 고객사에 최적화된 맞춤형 스마트 솔루션을 제공해 다양한 산업 현장에 새로운 패러다임을 제시하고 있다"면서 "AI비전 시스템을 활용해 자율적으로 제품의 정보를 학습하고, 로봇시스템이 스스로 인지·판단할 수 있는 시스템을 구현하는 데 역량을 집중하고 있다"고 했다.