대구대, '반도체AI융합공정실' 개소… AI·반도체 융합 인재 양성 본격화

지난달 28일 공학5관에서 '반도체AI융합공정실' 개소식
마스크리스 노광장비·광 특성 분석장비 등 구축
산업현장 맞춤형 실습 환경 마련

지난달 28일 대구대학교 공학5관에서 박순진 대구대학교 총장과 김경기 대구대 반도체교육원장, 정현 반도체부트캠프센터장, 참여 교원 및 센터 관계자 등이 참석한 가운데 '반도체AI융합공정실' 개소식이 열렸다. 대구대 제공

대구대학교가 첨단 반도체 제조 공정과 인공지능(AI) 기술을 접목한 실습 인프라를 구축하고 AI·반도체 융합 인재 양성에 나선다.

대구대 반도체교육원 반도체부트캠프센터는 지난달 28일 공학5관에서 '반도체AI융합공정실' 개소식 및 현판식을 개최했다고 2일 밝혔다.

이날 행사에는 박순진 총장과 김경기 반도체교육원장, 정현 반도체부트캠프센터장, 참여 교원 및 센터 관계자 등 20여 명이 참석해 실습실 구축 완료를 축하하고 향후 운영 방안을 논의했다.

새롭게 문을 연 반도체AI융합공정실은 학생들이 산업 현장 수준의 실무 역량을 갖출 수 있도록 반도체 제조 공정부터 정밀 분석까지 전 과정을 실습할 수 있는 최신 장비를 갖춘 것이 특징이다. 특히 교육과 연구 전반에 AI 기술을 접목해 차세대 반도체 산업 환경에 대응할 수 있도록 설계됐다.

실습실은 반도체 공정 구역과 정밀 분석 구역으로 구성된다. 반도체 공정 구역에는 박막 형성 실습과 AI 기반 증착 패턴 예측 연구가 가능한 증착 공정(CVD) 설비를 비롯해 에칭·세정 공정 최적화를 위한 화학 공정 설비(Fume Hood)가 마련됐다.

또 기존 마스크 방식의 한계를 보완한 마스크리스 노광 장비(Maskless Photolithography)를 도입해 미세 패턴 형성 기술 교육과 함께 AI 기반 패턴 설계 및 수율 향상 연구를 수행할 수 있도록 했다.

정밀 분석 구역에서는 광 특성 분석 장비(PL/Raman Spectrometer)를 활용해 얻은 소재 데이터를 AI 모델로 분석하고, 전기 특성 분석 장비(Probe Station)를 통해 소자의 성능을 측정·평가하는 등 AI 기반 분석 연구가 이뤄질 예정이다.

김경기 반도체교육원장은 "반도체AI융합공정실은 학생들이 차세대 반도체 산업을 선도할 핵심 융합 인재로 성장하는 기반이 될 것"이라고 말했다.

박순진 총장은 "교육 및 실습 환경이 크게 개선된 만큼 실무 역량과 첨단 기술을 겸비한 AI·반도체 융합형 인재 양성에 힘써 달라"고 당부했다.