OCI머티리얼즈 '다이실란 기술' 신기술 인증

연간 10t 생산 수입대체 효과

특수가스 전문업체인 영주시 가흥동 OCI머티리얼즈(대표 조백인)가 독자적으로 개발한 다이실란(Si2H6) 제조 공정 기술이 최근 지식경제부 기술표준원으로부터 신기술(NET) 인증을 받았다.

고순도 다이실란은 반도체 공정의 증착용 가스로 사용되며, 미세화 과정에서 우수한 박막 형성 효과를 얻을 수 있다.

OCI머티리얼즈 관계자는 "전량 수입에 의존하는 고순도 다이실란은 전 세계적으로 공급이 부족해 높은 가격을 유지하는 만큼 앞으로 공급 부족 및 수입 대체를 통해 국내 반도체 산업 발전에 기여하게 될 것"이라며 "이번 신기술 인증으로 삼불화질소(NF3'연산 7천500t'세계 1위)에 이어 또 한 번의 국산화를 이루게 돼 OCI머티리얼즈의 기술력을 인정받는 계기가 됐다"고 말했다.

한편 OCI머티리얼즈는 지난 6월 다이실란 제조 생산 설비를 착공, 지난 11월에 완공했으며 연산 10t 규모의 생산 능력을 갖추고 있다.

OCI머티리얼즈는 반도체, LCD, 태양광 전지 핵심인 삼불화질소를 비롯한 모노실란(SiH4), 육불화텅스텐(WF6) 등을 제조 생산하는 특수가스 전문기업이다.

영주'마경대기자 kdma@msnet.co.kr