국내 연구진이 기존의 반도체 시설을 이용해 탄소 나노(Nano)튜브와 나노선 소자를 대량 생산하는 기술을 세계 최초로 상용화하는 데 성공했다.
서울대 물리·천문학부 홍승훈 교수팀은 탄소 나노튜브와 각종 나노선을 이용한 초고집적도의 분자 ·양자 소자를 기존의 반도체 시설로 대량 생산하는 데 성공했다고 16일 밝혔다.
홍 교수팀의 연구 성과는 세계적 과학 잡지인 '네이처'(Nature)가 지난 4일 발간한 '네이처 나노테크놀로지' 창간호에 소개됐으며 국내에서 3종의 관련 특허가 출원된 데 이어 조만간 국제특허 출원이 추진될 예정이다.
기존 반도체 시설을 이용하는 이 기술은 반도체 기판의 특정 위치에 '비흡착성 분자막'을 입힌 뒤 탄소 나노튜브와 나노선이 포함된 용액을 뿌리면 탄소 나노튜브와 나노선이 깨끗한 기판 표면에만 자동적으로 결합되는 원리를 이용했다.
연합뉴스
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