구미 SK실트론, 이달말 국내 최초 K-초순수 공급…반도체 특화단지 '탄력'

김장호 구미시장이 15일 국산 초순수 정식공급을 앞둔 SK실트론 구미2공장을 방문해 생산 시설을 둘러보고 있다. 구미시 제공

구미산단 내 SK실트론이 이달말부터 국내 최초로 우리 기술로 생산한 초순수를 반도체 웨이퍼 생산공정에 정식으로 공급한다. 이로써 구미지역의 반도체 인프라가 한층 더 견고해질 전망이며, 구미시가 반도체 특화단지 유치에 유리한 고지를 선점하게 됐다.

15일 구미시와 SK실트론에 따르면 반도체 산업은 대표적인 물 다소비 산업으로, 사용 용수의 50%를 초순수 공업용수로 사용하고 있다. 초순수는 반도체 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로, 미생물·전해질·유기물 등의 불순물을 거의 제로 상태로 제거하는 '극정제화' 작업을 거쳐 생산된다.

수돗물을 생산하는 정수장 공정이 7단계인 데 비해 초순수는 25단계의 공정을 거친다. 이처럼 세밀하고 복잡한 공정 때문에 일본·미국·유럽연합(EU) 등 선진국만 초순수 생산기술을 보유하고 있다.

현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용하며 일본 초순수 기업들이 설계와 분석을 하고 있다.

앞서 환경부와 한국수자원공사는 초순수 국산화를 위해 SK실트론 구미2공장에 하루 2천400t 규모의 초순수 국산화 실증플랜트 구축을 추진 중이다.

초순수 국산화 실증플랜트는 외산 플랜트와의 기술력 비교검증을 위해 총 3단계로 구축된다. 이번에 정식공급하는 1단계 구축 플랜트는 그동안 외국에 의존했던 설계시공을 최초로 국산화한 플랜트로, 하루에 1천200t의 초순수를 SK실트론 웨이퍼 공정에 공급한다.

이어 올해 말까지는 국내 장비를 적용해 1천200t의 초순수 국산화 플랜트(2단계)를 추가 구축한 뒤, 플랜트 운영효율 향상을 위한 디지털 트윈 기반 운영시스템을 구축(3단계)해 성능평가를 완료할 예정이다. 초순수 국산화 실증 플랜트가 완성되면 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다.

김장호 구미시장은 "구미에서 시작한 초순수 국산화는 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것"이라며 "반도체 소재부품산업 경쟁력 강화를 위해 구미 반도체특화단지 지정이 꼭 필요하다"고 강조했다.